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CVD | Chemische Gasphasenabspaltung

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Moderator: Chemiestudent.de Team

rick742

CVD | Chemische Gasphasenabspaltung

Beitragvon rick742 » 10.09. 2019 16:30

Meine Frage:
Ich stieß vor geraumer Zeit auf einen Ansatz zur Herstellung von synthetischen Diamantschichten durch die chemische Gasphasenabspaltung. Konkret bedeutet das, aus einer Gasphase bestehend aus 99% Wasserstoff sowie 1% eines Kohlenstoffträgers (z.B. Acetylen) welche durch ein Plasma aktiviert wird spaltet sich eine Feststoffkomponente auf der Oberfläche eines geeigneten Substrats (z.B. eine andere Diamantplatte) ab.
Klingt in der Theorie recht einfach doch mir war schnell klar das die praktische Umsetzung einige Risiken und Komplikationen mit sich bringt, zu meinen konkreten Umsetzungsideen komme ich noch. Allerdings beschäftigt sich meine Hauptfrage damit ob ihr es für möglich haltet, dieses sogenannte CVD Verfahren, ohne explizit für diesen Zweck entwickelte Maschinen mit unvorstellbaren Preisen, erfolgreich durchzuführen?
Selbstverständlich ist dies nur ein Gedankenexperiment meinerselbst, mir fehlt das Labor und vor allem die Übersicht über die Gefahren. Die leichte Entzündlichkeit des Kohlenstoffträgers sowie die erforderlichen Gerätschaften bringen mich hier an die Grenze, dennoch halte ich das Thema für hochinteressant.

Meine Ideen:
In meinen Gedanken könnte das ganze so funktionieren:
Man nehme ein extra für CVD Verfahren gefertigtes Substrat (von industriellen Herstellern),
Um die Gasphase zu aktivieren ist ein Plasma von Nöten.
Ich kenne den Fachbegriff nicht, doch ich denke eine industrielle Mikrowelle mit 5000-8000 Watt welche vollkommen isoliert ist und Anschlüsse für Gaszufuhr sowie eine Möglichkeit bietet die Luft abzusaugen um im Innenraum ein Vakuum entstehen zu lassen was den Gasdruck gering halten soll, wäre geeignet.
In diese Gerätschaft fügt man dann also das Substrat bei und lässt nach dem vakuumisieren das Gas zufließen.
Doch bei diesem Schritt würden mir dann die Knie wackeln, einer der Gründe warum dies für immer ein Gedankenexperiment bleiben wird, denn 1. Wüsste ich keineswegs wie viel Gas pro Minute zugeführt werden sollte, oder ob man überhaupt konstant eine Zufuhr schaffen sollte.. 2. Wäre ich ebenfalls viel zu anfällig einen Fehler zu begehen und mir die gesamte Gerätschaft um die Ohren fliegen zu lassen, selbst wenn das ganze in einem Labor stattfinden würde-viel zu heikel.
Doch rein aus Interesse noch eine weiter Frage:
Wie würde man im falle einer erfolgreichen Gasphasenabscheidung die Feststoffkomponnente wieder vom Substrat entfernen ?

Nobby
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Re: CVD | Chemische Gasphasenabspaltung

Beitragvon Nobby » 11.09. 2019 09:40

Reichen die Antworten in den anderen Foren, wo Du die gleiche Frage gestellt hast nicht?


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