ich habe Si Bauteile auf deren Oberseite befindet sich SiO2 und darauf befinden sich wiederum Strukturen aus Cu.
Auf den Bauteilen befinden sich vereinzelt noch Lackreste von der Strukturierung und Staub vom Sägen und der Umgebung.
Reinigung im Ultraschall mit Aceton oder Di Wasser habe ich schon versucht.

Wisst ihr vielleicht noch nen Weg die Teile sauber zu kriegen?
Vielen Dank für eure Hilfe